DC电源插座EUV光刻技术专家们仍持怀疑态度
这是最后的半导体路线图193纳米蚀刻——下一代将不得不去157纳米光。DC电源插座
吉姆Blatchford,德州仪器的经理的前端处理,刚刚完成了一个领先的谈判为157纳米光刻系统,但他仍担心未经证明的技术,所以他去一个学报(社会的光照片仪表工程师)会话在157纳米蚀刻。
当他到达时,然而,他惊奇地发现房间几乎空无一人。雨是外面下着倾盆大雨使一个lonley去核机行话没有通常的人群噪音掩盖它。不对劲在157纳米。DC电源插座
“我记得它这么好。我们刚完成谈判在我们157纳米的工具,但当我走进一个157 - nanmoter学报2004房间的会议几乎完全空的。的声音,大雨倾盆而降的屋顶被怪诞的。我马上知道事情不对劲,“Blatchford说。
在谜团被揭开Blatchford时发现,与会者都挤在浸光刻会话为193纳米,主持人声称工程师不需要风险要157纳米。他们要做的就是将减少透镜最近的晶圆片在水减少特征尺寸的index-of-refractionn(1.44)。和更高的指数液体,它应该可以扩展193纳米光刻evern进一步。
“什么是最令我惊讶的是如何快速每个人都采用了浸液式光刻。一旦它也成为了一个可行的技术,每个人都有,”Blatchford车载立即说。DC电源插座

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